项目简介
项目名称
小功率微波微等离子体的研究
项目批准号
61072007
学科分类
F0106
信息科学部
_电子学与信息系统
_空天通信
资助类型
信息科学
负责人
廖斌
依托单位
华东师范大学
批准年份
2010
起止时间
201101-201312
批准金额
36.00万元
摘要
微等离子体和纳等离子体是超临界流体等离子体和量子等离子体的基础，小功率微波微等离子体就是通过微小功率微波激励起小尺寸的等离子体，它具有体积小及易与其它MEMS器件集成等优点。本课题拟对基于2.45GHz小功率微波微等离子体源的结构和系统集成技术作深入研究，通过采用MEMS工艺及对小功率微波微等离子体源的结构、基片材料及相关参数的研究和优化，以达到微波微等离子体小型化的目的；通过采用微型微波功率源，以达到小功率微波微等离子体源的有源集成的目的；通过建立微等离子体模型，测试并分析小功率微波微等离子体在不同气体和不同气压条件下的电特性、光特性和热特性等，研究小功率微波微等离子体激励与功率、气压和外加磁场等之间的相互关系，以达到小功率微波微等离子体最佳激励状态的目的。研究内容是近年来国内外在小功率微波微等离子体研究领域的进一步深入，研究成果将有助于更好解决小功率微波微等离子体的可控和集成的问题。
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