项目简介
项目名称
螺旋波等离子体特性及与材料相互作用基础研究
项目批准号
11175126
学科分类
A050605
数理科学部
_物理学Ⅱ
_等离子体物理
_等离子体与物质相互作用
资助类型
数理科学
负责人
吴雪梅
依托单位
苏州大学
批准年份
2011
起止时间
201201-201512
批准金额
76.00万元
摘要
等离子体与材料表面的复杂相互作用，可同时改变两者的状态而直接影响等离子体的应用，并成为等离子体科学技术领域的研究热点。本项目选用具有明确应用目标的高密度螺旋波等离子体(HWP)放电，本着等离子体产生、等离子体在线诊断，材料表面表征相结合的原则，研究HWP产生机理、约束方法及与材料（半导体材料、Tokamak壁材料）表面相互作用；分别采用探针、光谱、质谱等实验诊断手段，通过不同天线形状、不同磁场、不同电源的频率及功率的调节，研究对等离子体参数（等离子体密度、电子温度等）、化学活性粒子种类、以及入射到材料表面上离子能量和角度分布的影响；探求等离子体基元的种类、分布与材料表面相互作用过程、结构和性质的关联；建立螺旋波等离子体与材料表面相互作用的物理模型。揭示等离子体与材料表面相互作用的机理和规律，为具有自主知识产权的HWP半导体刻蚀设备的优化和HWP壁处理工艺的参数优化提供有价值的科学依据。
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