熔石英元件亚表面加工缺陷形成机理与控制技术研究

负责人：王洪祥

依托单位：哈尔滨工业大学

批准年份：2012

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项目简介
项目名称
熔石英元件亚表面加工缺陷形成机理与控制技术研究
项目批准号
U1230110
学科分类
A06 数理科学 _NSFC-中物院联合基金
资助类型
暂无数据
负责人
王洪祥
依托单位
哈尔滨工业大学
批准年份
2012
起止时间
201301-201512
批准金额
54.00万元
摘要
暂无数据
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