项目简介
项目名称
柔性氧化锌基透明导电薄膜的光、电、力学性能调控
项目批准号
61204073
学科分类
F040306
信息科学部
_半导体科学与信息器件
_半导体光电子器件
_半导体光伏材料与太阳电池
资助类型
信息科学
负责人
吴永庆
依托单位
中国科学院上海硅酸盐研究所
批准年份
2012
起止时间
201301-201512
批准金额
26.00万元
摘要
柔性氧化锌基透明导电薄膜因其具有资源丰富、成本低廉、绿色环保等特性，成为柔性透明导电薄膜的发展趋势，目前仅有较少柔性ZnO基薄膜的研究报道，且存在光电性能不高、力学性能差和稳定性低等关键问题，阻碍了柔性ZnO基薄膜的实用化进程。本项目拟从导电靶材制备、多元素掺杂、复合膜系设计、衬底表面改性等方面出发，采用直流磁控溅射方法制备高质量、低成本柔性ZnO基透明导电薄膜。利用液相法和喷雾造粒技术，制备高致密度、微结构均匀的ZnO陶瓷靶材；研究不同衬底对薄膜结构、性能的影响；通过稀土元素和高价位差元素掺杂，调控薄膜的光电性能，获得"微观结构-导电机制-光电性能"的本征关系；设计新型电介质/金属/电介质多层膜结构，提高薄膜的光电性能和稳定性；采用等离子体预处理和沉积籽晶缓冲层等手段，提高薄膜与柔性衬底之间的附着力。本项目能够为柔性氧化锌基薄膜的产业化应用提供基础数据和理论指导。
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