项目简介
项目名称
纳米加工与新型半导体器件研究
项目批准号
60825403
学科分类
F0402
信息科学部
_半导体科学与信息器件
_集成电路设计与测试
资助类型
信息科学
负责人
刘明
依托单位
中国科学院微电子研究所
批准年份
2008
起止时间
200901-201212
批准金额
200.00万元
摘要
申请者长期致力于纳米加工及新型纳米电子器件的研究。作为负责人承担了多项国家973、863和基金项目。获得国家发明二等奖两次（2005、2007），发表学术论文150余篇，获得/申请专利82项。是国内开展纳米加工方法和工艺研究的先导者；国际上第三个研制成功256位分子存储器（国际上首先采用软X射线曝光技术实现）；研制成功库仑岛的最小尺寸为10nm的SOI基单电子器件；以及室温峰谷比高达13.98的GaAs基共振隧穿器件，是同类材料所见报导的最好结果；提出利用金属掺杂提高阻变存储器（RRAM）性能和一致性的方法，这是国际上最早提出此概念的两个小组之一，并且得到国际研究热点的跟踪；国内首次制备了Cu/ZrO2:Cu/Pt材料结构的8×8交叉阵列，最高存储密度达到277.78Mb/cm2；负责了新型存储器的863重点项目，将实验室成果推向企业，对提升我国微电子行业自主创新能力有重要意义。
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