项目简介
项目名称
多畴铁电薄膜的非本征压电性能的研究
项目批准号
51002088
学科分类
E020402
工程与材料科学部
_无机非金属材料
_功能陶瓷
_压电与铁电陶瓷材料
资助类型
工程与材料科学
负责人
欧阳俊
依托单位
山东大学
批准年份
2010
起止时间
201101-201312
批准金额
20.00万元
摘要
本课题针对如何提高铁电薄膜压电性能的技术挑战，利用薄膜弹性畴理论,应变工程和射频磁控溅射外延生长技术优化铁电薄膜中的自组装多畴结构，实现铁电多畴薄膜的可控制备，并利用压电力显微镜，X光以及透射电镜技术对薄膜中的多畴结构进行表征，使其在外加电场下能够提供充分，稳定和可逆的非本征压电效应，从而极大的提高铁电薄膜的有效压电系数。本课题具有重要的科学与实用价值，将促进科学界对铁电薄膜压电效应的深入理解，以及扩大其作为传感器材料在压电元器件领域，尤其是微电子机械系统中的应用。
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