项目简介
项目名称
MEMS压电矢量水听器
项目批准号
11174319
学科分类
A040507
数理科学部
_物理学Ⅰ
_声学
_声学换能器、声学测量方法和声学材料
资助类型
数理科学
负责人
汪承灏
依托单位
中国科学院声学研究所
批准年份
2011
起止时间
201201-201512
批准金额
75.00万元
摘要
矢量水听器已成为水下探测的声学换能器一种新类型，它已广泛应用于水声工程领域中。MEMS矢量水听器是矢量水听器的一个重要发展方向。本项目提出了一种新型MEMS矢量水听器，即基于压电薄膜的MEMS压电矢量水听器。它除具有MEMS器件微小型的特点外，有较高灵敏度；是无源器件，工作稳定可靠；外电路简单，可置于MEMS矢量水听器的外壳中。本项目对带有惯性质量的悬臂梁压电复合梁和桥式压电复合梁两种结构，在粘滞液体中受声强迫振动，和相应的声-力-电作用过程进行原理分析；解决MEMS工艺过程中的关键问题，进行MEMS工艺研究；在理论分析和工艺制备条件下，提出优化设计；研制出MEMS压电矢量水听器的实验器件；并对它的灵敏度、工作带宽、指向性等关键参数进行性能测量，它将为今后MEMS压电矢量水听器及其在水声工程中的应用打下基础。
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