项目简介
项目名称
单晶金刚石光辅助化学机械抛光机理与高效超低损伤加工工艺
项目批准号
学科分类
暂无数据
资助类型
暂无数据
负责人
郭晓光
依托单位
大连理工大学
批准年份
2021
起止时间
202201-202612
批准金额
58.00万元
摘要
暂无数据
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