项目简介
项目名称
XF2（X=S,Mo,W）自由基电子激发态光谱及动力学研究
项目批准号
29873046
学科分类
B030402
化学科学
_物理化学
_化学动力学
_分子动态学
资助类型
暂无数据
负责人
俞书勤
依托单位
中国科学技术大学
批准年份
1998
起止时间
199901-200112
批准金额
12.00万元
摘要
SF2MoF2及WF2自由基是半导体工业的等离子体蚀刻过程中一个重要的中间产物，此类自由基的光谱及动力学研究对了解其能级结构，化学活性，光电离及解离等动力学过程起着关键作用。本课题拟用直流脉冲放电方法产生所需的自由基，通过激光诱导荧我光谱和共振增强多光子电离光谱测量，结合同步辐射光吸收，光电离及荧光激发谱测量，深入研究指定自由基电子激发态能级结构及其解离动力学过程。
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