项目简介
项目名称
基于薄膜体声波谐振器的可集成可调高频滤波器基础研究
项目批准号
61106081
学科分类
F040406
信息科学部
_半导体科学与信息器件
_半导体电子器件
_薄膜电子器件与集成
资助类型
信息科学
负责人
罗为
依托单位
华中科技大学
批准年份
2011
起止时间
201201-201412
批准金额
25.00万元
摘要
随着无线移动产品向高频化、多功能、多频段的方向发展，传统声表面波滤波器在高频范围下由于指条宽度受限于光刻工艺、器件功率容量小等因素不再适用，基于体声波谐振器（FBAR）的新一代无源滤波器逐渐占领了2.5GHz以上的市场。FBAR滤波器具有小体积、高频率、低插损、高功率容量、可集成的诸多优点。本项目拟采用高性能的铁电薄膜代替FBAR中的压电薄膜，利用铁电材料的介电非线性性质对滤波器的中心频率实现可调，以进一步拓展FBAR的应用范围。本项目将尝试制备多层复合铁电薄膜来提高铁电薄膜的介电调谐性质，以拓宽谐振器调谐范围，提高Q值；结合自身研究基础，为可调FBAR器件建立精确数值模型和可与射频电路设计软件兼容的元件库；在模型基础上设计制备出Q值大于400、调谐范围大于5%的可调FBAR器件，并采用梯形级联镜像结构设计制备出工作频率5GHz、插损小于3dB的可调谐高频FBAR滤波器。
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