FinFET和GAAFET热载流子可靠性的原子级动力学理论研究

负责人：刘岳阳

依托单位：中国科学院半导体研究所

批准年份：2021

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项目简介
项目名称
FinFET和GAAFET热载流子可靠性的原子级动力学理论研究
项目批准号
学科分类
暂无数据
资助类型
暂无数据
负责人
刘岳阳
依托单位
中国科学院半导体研究所
批准年份
2021
起止时间
202201-202612
批准金额
57.00万元
摘要
暂无数据
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