项目简介
项目名称
稀薄空气热压膜阻尼理论与实验研究
项目批准号
61076122
学科分类
F040701
信息科学部
_半导体科学与信息器件
_半导体微纳机电器件与系统
_微纳机电系统模型、设计与EDA
资助类型
信息科学
负责人
杨恒
依托单位
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
批准年份
2010
起止时间
201101-201312
批准金额
35.00万元
摘要
稀薄气体压膜阻尼是真空封装的微机电器件的主要阻尼形式，是微机械动力学中有待解决的重要理论问题。本项目提出稀薄气体压膜阻尼是由气体流动和热效应共同引起的，应当称为热压膜阻尼。气体流动和热效应分别遵守质量守恒与能量守恒。本项目拟建立基于质量守恒与能量守恒方程的热压膜阻尼二维解析模型，通过模拟与实验拟合得到典型微机械材料气固界面的热适应系数，通过判别实验验证模型，在二维模型与热适应系数数据库的基础上编制成数值计算工具，为微机电器件设计提供稀薄气体阻尼的分析方法与工具。本项目的研究内容包括二维解析模型研究、典型材料气固界面热适应系数计算与拟合、模型的实验验证、数值计算工具开发等内容。本项目有望在国际上率先明确稀薄气体压膜阻尼的机理，实现稀薄气体压膜阻尼问题的精确求解，并研制成数值计算工具。
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