STTR Phase I: Snapshot, on-machine metrology system for high-precision optical manufacturing

负责人：Rongguang Liang

依托单位：LIGHT RESEARCH INC

批准年份：2024

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项目简介
项目名称
STTR Phase I: Snapshot, on-machine metrology system for high-precision optical manufacturing
项目批准号
2322208
学科分类
暂无数据
资助类型
暂无数据
负责人
Rongguang Liang
依托单位
LIGHT RESEARCH INC
批准年份
2024
起止时间
202410-202509
批准金额
274524.00美元
摘要
暂无数据
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