项目简介
项目名称
互补型石墨烯场效应晶体管器件研究
项目批准号
61006063
学科分类
F040407
信息科学部
_半导体科学与信息器件
_半导体电子器件
_新型半导体电子器件
资助类型
信息科学
负责人
王显泰
依托单位
中国科学院微电子研究所
批准年份
2010
起止时间
201101-201312
批准金额
21.00万元
摘要
石墨烯具有优异的物理和电学特性，是近年来被微电子业界寄予延展摩尔定律厚望的新型材料。与硅基微电子器件结构兼容是石墨烯器件实用化中需要克服的重要问题。本研究以制作出与硅基CMOS具有较高相似度的互补型石墨烯场效应器件为目标，针对石墨烯原有的半金属特性不能满足半导体器件应用的问题，通过对石墨烯施加微电子常用的工艺步骤，包括制作金属、介质的接触并引入温度、杂质等影响，利用多种观测方法研究材料界面、杂质和工艺过程对石墨烯性质的改变状况，总结石墨烯能带结构和载流子迁移率的变化规律，探索能够稳定的使石墨烯出现合适的能带带隙和狄拉克点偏移量，呈现出所期望的半导体特性的理论与方法，并利用这种半导体特性的石墨烯制作场效应器件，通过控制狄拉克点偏移量实现不同栅电压中心点的石墨烯场效应晶体管，研制互补型石墨烯场效应晶体管器件结构。
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