项目简介
项目名称
基于纳米光栅的光纤-芯片高效垂直耦合器件研究
项目批准号
61076111
学科分类
F040705
信息科学部
_半导体科学与信息器件
_半导体微纳机电器件与系统
_微纳光机电器件与系统
资助类型
信息科学
负责人
薛晨阳
依托单位
中北大学
批准年份
2010
起止时间
201101-201312
批准金额
39.00万元
摘要
以纳米光波导器件为代表的微光学芯片是近期国际研究的热点，其中光源与芯片或芯片与芯片之间高效耦合是器件性能的关键。目前国内采用的光纤与芯片直接对接耦合方法，其耦合效率不到20%，而且对准精度要求非常高，不便于集成和批量加工。本项目结合国际最新研究进展，提出利用纳米光栅垂直耦合的光学互连方案，是利用光的衍射，改变光传播方向，实现垂直耦合，解决从直径数十微米的光纤到百纳米的光波导结构的低损耗光传输问题，预期实现大于50%耦合效率。本项目拟采用光学软件设计纳米光栅垂直耦合结构，并采用聚集离子束技术加工纳米光栅，然后通过实验验证和优化耦合结构，并探索利用深紫外CMOS批量加工纳米光栅工艺。本项研究成果将开发出便于集成、封装的通用光源与芯片或芯片与芯片之间高效耦合结构，提高集成器件之间传输带宽，提高集成度，促进我国光电子一体化集成器件的研究发展，具有重要的学术和应用价值。
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