项目简介
项目名称
用载能离子调控纳米银晶粒来改善硬质类金刚石薄膜韧性
项目批准号
51071143
学科分类
E011002
工程与材料科学部
_金属材料
_金属材料表面科学与工程
_金属材料表面改性及涂层
资助类型
工程与材料科学
负责人
于翔
依托单位
中国地质大学（北京）
批准年份
2010
起止时间
201101-201312
批准金额
30.00万元
摘要
利用载能离子改善薄膜韧性并正确表征薄膜韧性是实现硬质无氢DLC（类金刚石碳）薄膜在绿色精密金属零件上产业化应用的一个关键前沿课题。本课题将载能离子银晶粒纳米化和薄膜韧性表征结合起来研究，利用多离子束载能离子调整无氢硬质含银DLC薄膜的纳米银晶粒尺寸、晶界间距、晶界滑移，制备兼备高硬度和高韧性的硬质DLC薄膜，探索硬质DLC薄膜韧化机理、薄膜韧性的正确表征和在超深钻探工况条件下的应用。在系统表征薄膜结构、性能、韧性和内应力的基础上，通过分析比较不同薄膜韧性表征结果，并通过薄膜内应力、结构和性能测试结果进行验证，尝试找到正确的薄膜韧性表征方法；与此同时，逐步揭示纳米银晶粒与载能离子、薄膜韧性之间的内在关系，合成兼备高硬度和高韧性的DLC薄膜，拓展载能离子沉积硬质DLC薄膜的产业化应用。
评论区 (0)
#插入话题
