项目简介
项目名称
金纳米多孔敏感增强型压电薄膜体声波生物传感器的研究
项目批准号
61106070
学科分类
F040401
信息科学部
_半导体科学与信息器件
_半导体电子器件
_半导体传感器
资助类型
信息科学
负责人
熊娟
依托单位
湖北大学
批准年份
2011
起止时间
201201-201412
批准金额
30.00万元
摘要
为克服压电薄膜体声波生物传感器在生物液体环境中声波能量损耗大、灵敏度不高的问题，采用两步溅射气压结合靶材与衬底中心位置偏移方法，制备c轴倾斜角度可控的AlN压电薄膜。分析两步溅射气压比例、靶材与衬底中心偏转角度等工艺参数对c轴倾斜薄膜生长的影响，研究相应的生长机制，探讨c轴倾斜角度与剪切模式机电耦合系数、品质因子之间的关系。采用"去合金化"方法生长具有生物相容性和质量放大效应的金纳米多孔敏感膜，分析电化学腐蚀电压、时间、温度及电流密度对孔尺寸和孔壁厚度等结构参数的影响，探讨金纳米多孔微结构与生物分子吸附量的关联性，实现传感器输出信号的放大，研究金纳米孔膜结构对传感器灵敏度的增强机制。本项目结合了c轴倾斜压电薄膜和金纳米多孔膜对传感器能量转换效率、质量放大效应的调控和促进作用，其顺利实施将进一步提高薄膜体声波生物传感器的灵敏度，并为其在医药、环境等领域的应用提供良好的材料基础与理论指导。
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