项目简介
项目名称
高性能MEMS体波谐振器理论与实验研究
项目批准号
61006074
学科分类
F040703
信息科学部
_半导体科学与信息器件
_半导体微纳机电器件与系统
_微纳机电器件
资助类型
信息科学
负责人
庞慰
依托单位
天津大学
批准年份
2010
起止时间
201101-201312
批准金额
24.00万元
摘要
现代无线通讯系统需要高性能的通带滤波器作为频率选择装置，从而保证相邻信号通道干扰的有效隔离。由MEMS体波谐振器组成的滤波器具有适用频率范围广、插入损耗低、过渡带陡直、ESD效应小、承载功率大等优点，已逐步广泛应用于便携式通讯设备中。同时，MEMS体波谐振器基于硅衬底并能够完全和现有的集成电路技术相兼容，是目前唯一可以与RFIC及MMIC集成的滤波器方案，因此具备极为广泛的发展和应用前景。在本课题中，将主要围绕进一步提高谐振器性能这一主题，包括品质因数和机电耦合系数等方面，提出一种创新性的综合手段，在进行相关理论分析和有限元仿真基础上，由实验结果达到预期目标。基于此，本课题组在三个方面开展针对性研究：（1）系统研究激励电极形状对寄生模和Q值的影响；（2）采用在体波谐振器上添加复合层的方法，使色散曲线平坦化；（3）通过在谐振器边缘施加正载荷或负载荷的方法，从本质上消除寄生模并大幅度提高Q值。
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