项目简介
项目名称
应用于87Rb芯片级原子钟的硅基3.4GHz高Q薄膜体声波谐振器研究
项目批准号
11104313
学科分类
A040503
数理科学部
_物理学Ⅰ
_声学
_超声学、量子声学和声学效应
资助类型
数理科学
负责人
汤亮
依托单位
中国科学院声学研究所
批准年份
2011
起止时间
201201-201412
批准金额
28.00万元
摘要
芯片级原子钟由于其尺寸和功耗的优势，在移动便携式和水下通讯用定位对时系统、无人机定位系统、水下和地球物理探测装备中分布式观测阵元的对时系统等场合有巨大用途。相关研究在国内外日益受到重视。在应用于87Rb芯片级原子钟的3.4GHz压控振荡器中，通过高稳石英晶振倍频的传统方法由于功耗较高，不能满足芯片级原子钟的要求。本课题针对SiO2薄膜可以被用于补偿薄膜体声波谐振器（FBAR）频率温度系数和提高FBAR器件高阶模式Q值的特点，提出通过研究SiO2薄膜在FBAR器件结构中提高Q值和补偿谐振器频率温度系数的规律，结合器件实测结果，完成谐振器系统的建模和参数修正，找到同时满足谐振器频率、Q值和频率温度系数指标要求（3.4GHz，Q>1000，TCF优于±10ppm/K）的结构和参数；在此基础上，设计并采用MEMS工艺研制出相应的高Q值FBAR器件，应用于芯片级原子钟。
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